Tia X lần đầu tiên được phát hiện vào năm 1895 bởi nhà khoa học Wilhelm Conrad Röntgen khi ông làm thí nghiệm về các chùm hạt electron. Chính bởi phát hiện này mà ông trở nên nổi tiếng trên toàn thế giới, và tên của ông được đặt tên cho một nguyên tố trong bảng Hệ thống tuần hoàn các nguyên tố hóa học.
Tia X là một bức xạ điện từ năng lượng cao, chúng có năng lượng từ 200 eV đến 1MeV, nằm giữa tia gamma và bức xạ tia cực tím trong phổ điện từ. Như vậy, bước sóng tia X thay đổi từ 1pm đến 10nm. Khoảng bước song thường được ứng dụng trong nghiên cứu và phân tích là 0,05 – 0,25 nm do khoảng cách giữa các nguyên tử trong tinh thể xấp xỉ 0,2 nm.
Tia X được tạo ra bởi sự tương tác giữa tia điện tử và các điện tử trong lớp vỏ nguyên tử. Thông thường, để tạo tia X, người ta sử dụng điện tử được gia tốc bắn phá vào bia anot. Tuy nhiên, trong một số trường hợp, để tạo tia X có bước sóng cực ngắn công suất lớn thì có thể sử dụng betatron, hoặc sử dụng các nguồn đồng vị phóng xạ.
Tia X được tạo ra trong ống phát ronghen gồm hai điện cực đặt trong buống chân không. Toàn bộ hệ thống được giải nhiệt bằng nước. Các điện tử được sinh ra do nung nóng cathod bằng vonphram, cathod có điện áp âm cao, các điện tử được tăng tốc bắn phá về phía anod. Sự tổn hao năng lượng của điện tử do va chạm với anod kim loại được chuyển thành tia X (thường chỉ chiếm khoảng 1%).
Tia X tạo ra phụ thuộc vào thế tăng tốc sử dụng và bản chất kim loại làm bia anod. Xét phổ tia X của molipden. Với mỗi thế tăng tốc khác nhau, ta thu được một phổ tia X liên tục gồm nhiều bước sóng khác nhau. Phổ liên tục là do các điện tử mất năng lượng trong một loạt các va chạm với các nguyên tử anod.
Nếu một điện tử mất toàn bộ năng lượng trong một va chạm với nguyên tử bia để tạo ra một photon tia X có năng lượng lớn nhất hay bước sóng ngắn nhất thì bước sóng này được gọi là giới hạn sóng ngắn (λswl)
Khi điện tử lớp trong bị mất đi tạo thành lỗ trống thì có sự di chuyển từ các điện tử lớp ngoài vô lớp trong. Sự di chuyển này sẽ tạo ra các tia X đặc trung Kα1, Kα2… Các tia X đặc trưng có bước sóng phụ thuộc vào bản chất của vật liệu làm bia anod Nếu thay thế bia anod bằng các nguyên tố khác thì sẽ tạo ra được các tia X có bước sóng đặc trung khác nhau
Nguyên tố
|
Kα trung bình
|
Kα2
|
Kα1
|
Kβ
|
Cr
|
0.229100
|
0.229361
|
0.228970
|
0.208487
|
Fe
|
0.193736
|
0.193998
|
0.193604
|
0.175661
|
Co
|
0.179026
|
0.179285
|
0.178897
|
0.162079
|
Cu
|
0.154184
|
0.154439
|
0.154056
|
0.139222
|
Mo
|
0.071073
|
0.071359
|
0.070930
|
0.063229
|